磁控溅射中在溅射过程中一直充入氩气,同时还要抽出氩气,这是为什么?即为什么不设定一个气压值,在压强低于这一恒定值时再充入氩气,直到再次达到这一恒定值?

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/05/06 02:26:30
磁控溅射中在溅射过程中一直充入氩气,同时还要抽出氩气,这是为什么?即为什么不设定一个气压值,在压强低于这一恒定值时再充入氩气,直到再次达到这一恒定值?

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磁控溅射中在溅射过程中一直充入氩气,同时还要抽出氩气,这是为什么?
即为什么不设定一个气压值,在压强低于这一恒定值时再充入氩气,直到再次达到这一恒定值?

磁控溅射中在溅射过程中一直充入氩气,同时还要抽出氩气,这是为什么?即为什么不设定一个气压值,在压强低于这一恒定值时再充入氩气,直到再次达到这一恒定值?
一个持续的流态容易控制,突然地开闭状态不易控制.

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