secco腐蚀液是什么

来源：学生作业帮助网编辑：作业帮时间：2024/05/10 04:27:13

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用机械减薄和氧化剥层法获得表层硅厚度约0．4μm的BESOI薄膜.对这种薄膜用Secco腐蚀液腐蚀并分析了缺陷种类,计量了缺陷密度.用波长为0．5145μm的激光Raman谱测量了BESOI薄膜和界面附近的应力密度.结果表明,该薄膜的主要缺陷为氧化层错,密度约1．8×103／cm2,总的缺陷密度为2．6×103／cm2,张应力密度δ≤5×103N／cm2.

重铬酸钾：水：氢氟酸=11g：250ml：500ml

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